中圖儀器VT6000材料表面共聚焦測量顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理,，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,，從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器,，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度,、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù)。

VT6000材料表面共聚焦測量顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

(2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

(3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能；

(4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

(6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

功能特點(diǎn)

1,、測量模式多樣

單區(qū)域、多區(qū)域,、拼接,、自動(dòng)測量等多種測量模式可選擇，適應(yīng)多種現(xiàn)場應(yīng)用環(huán)境,；

2,、雙重防撞保護(hù)功能

Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能,，雙重保護(hù),；

3、分析功能豐富

3D：表面粗糙度,、平整度,、孔洞體積、幾何曲面,、紋理方向,、PSD等分析；

2D：剖面粗糙度,、幾何輪廓測量,、頻率、孔洞體積,、Abbott參數(shù)等分析,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、平面度,、粗糙度,、波紋度,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

應(yīng)用范例：

共聚焦顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)，顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像,，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,，對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性,。它具有直觀測量的特點(diǎn),，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù),。借助共聚焦顯微鏡,，能有效提高工作效率，實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作,。

部分技術(shù)指標(biāo)